半导体芯片制造过程中，光刻是最复杂工艺，光刻工艺的费用约占芯片制造成本的1/3左右，耗费时间占比约为40-50%，光刻工艺所需的光刻机是最贵的半导体设备，为此对A股10余只光刻机概念股进行解析：
首先，我国目前前三晶圆厂为为中芯国际、华虹集团、晶合集成；
其次，2023年国内有近10家新兴Fab产线处于建设中，分别是12寸新Fab占主导地位—主要包括紫光集团在成都的DRAM项目，大湾区的粤芯、华润微、鹏芯微、鹏新旭、增芯科技，以及青岛芯恩、合肥赛微电子；8寸主要为青岛芯恩8寸厂、中芯集成（前“中芯绍”）在扩建，此外中芯集成在扩建6寸化合物产线
第三，通过股份参与的张江高科、中芯国际、上海电气等
第四，我国光刻机零部件上市公司分布及紧张情况：
1.光学元件：
（2）晶方科技，市值167.2 亿，2023股价上涨37.95%，子公司Anteryon为全球领先的光学设计和晶圆级光学镜头制造商，是ASML光学平台和晶圆对位传感器的供应商
（2）炬光科技，市值114.6 亿，2023股价上涨36.44%，上海微电子等企业提供了半导体激光退火系统以及核心元器件
（3）茂莱光学，市值115.7 亿，2023股价上涨43.22%，光刻机光学透视镜提供商，目前生产的半导体光学透镜被应用在光刻机光学系统中
（4）苏大维格，市值63.1 亿，2023股价上涨29.85%，向上海微电子提供了光刻机用的定位光栅产品
（5）腾景科技，市值40.5 亿，2023股价上涨37.05%，公司多波段合分束器已完成产品开发，进入半导体设备厂供应链
2.光源：
（6）福晶科技，市值116.4 亿，2023股价上涨72.12%，研发KBBF晶体(用于激光设备的上游关键零部件)，KBBF晶体是目前可直接倍频产生EUV激光的非线性光学晶体
3.结构零部件：
（7）富创精密，市值238.4 亿，2023股价上涨5.48%，半导体零部件制造的工艺技术达到主流国际客户标准，是ASML的战略供应商
（8）新莱应材，市值156.0 亿，2023股价上涨2.62%，真空产品以及气体产品均可以应用到光刻机的设备中
4.空气净化设备：
（9）美埃科技，市值50.3 亿，2023股价上涨19.69%，为上海微提供了光刻设备所需的洁净过滤产品
5.物镜系统：
（10）赛微电子，市值135.0 亿，2023股价上涨24.36%，给ASML提供透镜系统MEMS部件和晶圆制造服务
